更新时间：2024-08-20 16:12
上海微电子装备(集团)股份有限公司于2002年03月07日成立。法定代表人张素心。
2023年9月6日，上海微电子装备（集团）股份有限公司发生工商变更，注册资本由约1.74亿人民币增至约2.66亿人民币，增幅约52.63%。
包括：半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅材料的进口业务（但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外）等。
2020年10月20日，获得上海知识产权创新奖创造奖。
2022年1月28日，国家发展改革委等部门关于印发2021年（第28批）新认定及全部国家企业技术中心名单的通知显示：该企业技术中心具有国家企业技术中心资格。
2022年12月，为一步阻挠和打压中国科技行业的发展，美国政府将上海微电子装备（集团）股份有限公司列入了“实体清单”。